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SPMC的生產車間寬敞,布局合理,有1600平米加工制造車間、高精度的CNC加工中心、大尺寸雕刻機;200平米千級和萬級的潔凈室;配備潔凈空氣、氮氣及去離子水;208伏和308伏的三相電壓;配套了先進的進口焊接、剪裁、測試及裝配工具。
 
 
硅密(常州)電子設備有限公司
常州新北區電子產業園新科路21號
 
工作時間
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  半 導 體



全自動石英坩堝清洗設備

 

自動的石英坩堝清洗機是利用濕法的化學工藝來清洗石英部件。在清洗的過程中,HF附帶DI水及加壓氮氣被做為蝕刻劑,石英坩堝的移動是通過PLC控制多向的自動化機械手臂來完成系統的操作。

設備主體結構由清洗機箱體、漏盤、上下噴淋系統、活動托盤、儲酸系統、抽風系統、酸液循環系統、石英器皿腐蝕/清洗槽、熱風烘干系統、管路部分、PLC+觸摸屏電控部分。

該設備主體上下分為三部分:上層電器控制系統、后部抽風系統,中層工作區,下層為管道安裝維修區、儲酸箱、DIW增壓泵、緩沖槽、酸液循環泵等。

工藝流程:

首先將石英坩堝放入清洗機立式活動臺,檢查水、電、氣正常,活動門封閉,然后啟動按鈕→進入酸洗程序→進入DIW洗程序→冷風預吹干→熱風吹干→冷風預冷卻→合格報警→人工用小車將石英坩堝取出清洗機,完成整個清洗工作。

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