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化學品供液系統
部件定制
 
 
SPMC的生產車間寬敞,布局合理,有1600平米加工制造車間、高精度的CNC加工中心、大尺寸雕刻機;200平米千級和萬級的潔凈室;配備潔凈空氣、氮氣及去離子水;208伏和308伏的三相電壓;配套了先進的進口焊接、剪裁、測試及裝配工具。
 
 
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  化學品供液系統

化學品供液系統
CDS系統被設計用于安全地向晶圓制程提供容量為200升超高純度化學藥品。采用計算機可編程邏輯控制系統采 樣和監控供應泵和閥門的工作狀態,實現系統自動運行而無需人工干預。操作員只需將化學品原料桶裝入原料倉,通 過觸摸屏上的按鈕即可使系統按預設的程序自動運行,從而最大程度減少了操作人員與化學藥品接觸的機會,一方面 加強了人身安全,另一方面避免外界雜質進入使化學品受到污染。設備維護人員可以進入手動控制模式對設備的每一 個單元進行控制。系統中完善的報警電路,一旦出現故障可以通知操作人員并關閉故障單元甚至關閉整個系統。
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